首先需要明确的一点是高频真空干燥窑与真空干燥窑所使用的真空原理是相同的，它们都是降低水的沸点并使木材在低温下加热。
  
  高频真空干燥窑与真空干燥窑两者之间的主要不同在于对被干燥木材所使用的加热原理。大部分的真空窑都是使用加热板，且每块木板夹在加热板（充满热水或油）加热板将加热表面转移到木材的芯部。如下图所示：
  
  高频真空干燥窑或射频使木材自身内外加热，加热不是加热转移，这是一种直接加热，原理是将木材制成电容器，电极将木材中的水分子极化，水分子会因高速摩擦而产生加热，所以加热比普通干燥窑快。